Die Laserspektroskopie ermöglicht eine qualitative, chemische Analyse der Probe. Durch Lasern des ausgewählten Bereichs wird ein charakteristisches Lichtspektrum ausgegeben, das Fingerabdrücke der im Material enthaltenen Elemente zeigt. Die Zusammensetzung der Mikrostruktur wird durch die Software, welche die Daten mit einer Datenbank abgleicht, ermittelt. Der Datenbankinhalt kann durch eigene Einträge erweitert werden. Aufgrund der einfachen Handhabung und der Robustheit des LIBS wurde dieses in den Mars Rover „Curiosity“ und aktuell im „Perseverance“ eingesetzt.
In einem Raster Elektronen Mikroskop erzeugen die Elektronen des Elektronenstrahls (Primärelektronen) auf der Probe Wechselwirkungen mit den Atomen. Diese können gemessen und ausgewertet werden.
SE Sekundärelektronen: SE bilden nur die oberen Atomlagen ab und geben Aufschluss über die Topographie der Probe.
BSE Rückstreuelektronen: Primärelektronen werden abhängig vom Atomgewicht der Probe zurückgestreut. Man erhält ein Materialkontrastbild das Rückschlüsse auf die chemische Natur bzw. die Verteilung verschiedener Materialien oder Elemente der zu untersuchenden Probe ermöglicht.
EDX Energiedispersive Röntgenspektroskopie: Auf ein energieärmeres Level fallende Elektronen geben die Energie als Röntgenstrahl ab. Die entstehende Strahlung ist typisch für ein Element. Man nutzt dies zur Elementanalyse
Mit diesem Gerät neuster Generation können die kleinsten Messflächen mit größter Präzision gemessen werden. Es ermöglicht die Schichtdickenmessung dünnster Schichten mit gleichzeitiger Analyse der Legierungszusammensetzung und ist damit bestens ausgestattet für die komplizierte Messung kleinster Kontakte und Bauteile mit komplexen Mehrschichtsystemen.
